靶材塑性变形方法

摘要

本发明提供一种靶材塑性变形方法，包括：提供金属料件，所述金属料件为钛或者钛合金；对所述金属料件进行多道次的压延工艺，制作成靶材。与现有技术相比，相对于现有技术，减少了塑性变形工艺中的工序，并使得制作的靶材符合塑性变形工艺要求，提高其生产良率。

主权项

一种靶材塑性变形方法，其特征在于，包括：提供金属料件，所述金属料件为钛或者钛合金；对金属料件进行预热处理，温度为500℃至600℃，持续时间为3小时至5小时；对所述金属料件进行多道次的压延工艺，制作成靶材，其中，所述压延工艺的道次数为八次，相邻二道次压延工艺的方向相差45度，每一道次压延工艺压延量为2mm～5mm；对经过多道次压延工艺后形成的靶材进行热处理，温度为500℃至600℃，持续时间为5小时至8小时；在将金属料件制作成靶材的过程中，仅会通过压延工艺而不会利用压延工艺外的其它塑性变形手段来实现金属料件的塑性变形。