一种基于微机电系统动镜的傅里叶变换微光谱仪

摘要

本发明涉及一种基于微机电系统动镜的傅里叶变换微光谱仪,包括迈克尔逊干涉仪、信号采集处理器和光电探测器，迈克尔逊干涉仪包括光源、第一分光镜、第二分光镜、MEMS微镜和静镜，它们彼此之间通过连接对样品实现扫描。本发明设计的基于微机电系统动镜的傅里叶变换微光谱仪实现了结构的微型化，提高了设备的便携型，能够保证MEMS微镜的线性移动，而且降低了整个设备的成本。

主权项

一种基于微机电系统动镜的傅里叶变换微光谱仪,包括迈克尔逊干涉仪、信号采集处理器和光电探测器；迈克尔逊干涉仪包括光源、第一分光镜、第二分光镜、动镜和静镜，其中光源射出的光束通过第一分光镜射到样品上，经样品反射的光束经第一分光镜射到第二分光镜上，第二分光镜将光束分为两路，一路射到静镜面上，一路射到动镜面上，经静镜、动镜反射后的两束光在第二分光镜处汇合形成迈克尔逊干涉光路；迈克尔逊干涉光路信号被射到光电探测器上，光电探测器将光信号转化为电信号输送至信号采集处理器中，通过傅立叶变换对包含样品信息的光谱进行复原，分析光谱得到样品信息，同时，信号采集处理器的输出端与动镜的控制端连接，其特征在于：所述动镜是MEMS微镜。