一种场发射显示器件中阳极屏的制备方法

摘要

一种场发射显示器件中阳极屏的制备方法，涉及场发射显示器件领域，它解决了现有制作场发射阳极屏时存在ITO电极条局部区域绝缘性低而产生干扰亮点，并且ITO层和衬底玻璃表面的视觉反差小，造成ITO条图形不清楚的问题，将ITO玻璃采用光刻方法进行光刻、腐蚀，采用ITO玻璃深化腐蚀液对ITO玻璃进行深化腐蚀；对深化腐蚀后的ITO玻璃旋涂荧光粉，通过光刻方法实现场发射显示器件阳极屏的制备；ITO玻璃深化腐蚀液的制备方法为：取H2O∶HF＝3∶1的混合液刻蚀ITO条形电极的玻璃衬底，所述HF的浓度为40％的HF的水溶液。本发明适用于场发射器件中套版光刻技术。

主权项

一种场发射显示器件中阳极屏的制备方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、将ITO玻璃采用光刻方法进行光刻、腐蚀，获得腐蚀后的ITO玻璃；步骤二、采用ITO玻璃深化腐蚀液对步骤一获得的ITO玻璃进行深化腐蚀；步骤三、对步骤二获得的深化腐蚀后的ITO玻璃旋涂荧光粉，通过光刻方法实现场发射显示器件阳极屏的制备；步骤二所述的ITO玻璃深化腐蚀液的制备方法为：取H20∶HF＝3∶1的混合液刻蚀ITO条形电极(1)的玻璃衬底，所述HF的浓度为40％的HF的水溶液。