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发明名称
摘要
申请公布号 JP4986054(B2) 申请公布日期 2012.07.25
申请号 JP20070294942 申请日期 2007.11.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;C23C16/42;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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