激光处理装置

摘要

本发明提供了激光处理装置。该装置能够抑制由于固定镜的光学性能的误差和变化引起的处理精度的降低，而且能够防止处理装置安装在平地工作台上时的后冲。该激光处理装置包括产生激光的激光振荡器：扫描激光照射位置的XY扫描器；安装在XY扫描器下侧的远心透镜，不管从XY扫描器进入的激光的入射角多大，远心透镜均使得朝向工件发射的激光发射角恒定；用来容纳激光振荡器和XY扫描器的外壳框架；以及支撑远心透镜和激光振荡器之间的外壳框架下表面的支撑构件，该支撑构件具有面积小于外壳框架下表面的安装表面。

主权项

一种激光处理装置，包括：激光振荡器，用于产生激光；XY扫描器，其在二维方向上扫描激光在处理对象上的照射位置；远心透镜，其布置在XY扫描器下侧，不管从XY扫描器进入的激光的入射角如何，该远心透镜都使得朝向处理对象发射的激光的发射角恒定；外壳，用于容纳激光振荡器和XY扫描器；以及支撑构件，用于支撑远心透镜和激光振荡器之间的外壳的下表面，该支撑构件具有面积小于外壳下表面的安装表面。