固态成像装置、固态成像装置的制造方法和电子设备

摘要

固态成像装置、固态成像装置的制造方法和电子设备。该固态成像装置，包括：基板；在基板的深度方向上布置在基板中的多个光电二极管；垂直的读出栅电极，用于读取所述光电二极管中的信号电荷，所述垂直的读出栅电极嵌入在基板中使得该读出栅电极在基板的深度方向上延伸；暗电流抑制区域，其覆盖所述读出栅电极的底部和侧表面，所述暗电流抑制区域包括在所述读出栅电极的侧表面上具有均匀厚度的第一导电型半导体区域；以及读沟道区域，其布置在第一导电型半导体区域与所述光电二极管之间，所述读沟道区域包括第二导电型半导体区域。

主权项

一种固态成像装置，包括：基板；像素；以及光电二极管分离区域，其将多个光电二极管彼此分离，其中，所述像素包括：在基板的深度方向上布置在基板中的多个光电二极管，平面型栅电极，用于读取所述光电二极管之中靠近基板的表面的一个光电二极管中的信号电荷，所述平面型栅电极设置在基板的表面上，以及垂直栅电极，用于读取所述光电二极管之中布置在相对于基板的表面较深位置处的一个光电二极管中的信号电荷，所述垂直栅电极嵌入基板中使得所述垂直栅电极在基板的深度方向上延伸。