发明名称 |
一种二硒化锡薄膜的制备方法 |
摘要 |
一种二硒化锡薄膜的制备方法,属于光电薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤得到,首先清洗基片,然后将SnCl2·2H2O、SeO2放入溶剂中,并调整pH值,用旋涂法在基片上得到前驱体薄膜,烘干,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触,最后进行干燥、反应,得到二硒化锡薄膜。本发明不需要高温高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所得二硒化锡光电薄膜有较好的连续性和均匀性,为制备高性能的二硒化锡光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。 |
申请公布号 |
CN102605352A |
申请公布日期 |
2012.07.25 |
申请号 |
CN201110290895.3 |
申请日期 |
2011.09.29 |
申请人 |
山东建筑大学 |
发明人 |
刘科高;纪念静;石磊;李静;许斌 |
分类号 |
C23C18/00(2006.01)I;C23C20/08(2006.01)I |
主分类号 |
C23C18/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种二硒化锡薄膜的制备方法,包括如下顺序的步骤:a.玻璃基片或硅基片的清洗;b.将SnCl2·2H2O、SeO2放入30~100份的溶剂中,使溶液中的物质充分溶解,并调整pH值至3~10;c.制作外部均匀涂抹步骤b所述溶液的基片,并烘干,得到前驱体薄膜样品;d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触;e.将步骤d所得物,进行干燥,得到二硒化锡薄膜。 |
地址 |
250101 山东省济南市临港开发区凤鸣路山东建筑大学 |