发明名称 一种二硒化锡薄膜的制备方法
摘要 一种二硒化锡薄膜的制备方法,属于光电薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤得到,首先清洗基片,然后将SnCl2·2H2O、SeO2放入溶剂中,并调整pH值,用旋涂法在基片上得到前驱体薄膜,烘干,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触,最后进行干燥、反应,得到二硒化锡薄膜。本发明不需要高温高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所得二硒化锡光电薄膜有较好的连续性和均匀性,为制备高性能的二硒化锡光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。
申请公布号 CN102605352A 申请公布日期 2012.07.25
申请号 CN201110290895.3 申请日期 2011.09.29
申请人 山东建筑大学 发明人 刘科高;纪念静;石磊;李静;许斌
分类号 C23C18/00(2006.01)I;C23C20/08(2006.01)I 主分类号 C23C18/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种二硒化锡薄膜的制备方法,包括如下顺序的步骤:a.玻璃基片或硅基片的清洗;b.将SnCl2·2H2O、SeO2放入30~100份的溶剂中,使溶液中的物质充分溶解,并调整pH值至3~10;c.制作外部均匀涂抹步骤b所述溶液的基片,并烘干,得到前驱体薄膜样品;d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触;e.将步骤d所得物,进行干燥,得到二硒化锡薄膜。
地址 250101 山东省济南市临港开发区凤鸣路山东建筑大学