| 发明名称 | 水银灯 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种水银灯，能够在波长248nm附近得到较高的光的放射强度，能够在长时间内维持光的放射强度，能够通过用于高压水银灯的点灯的点灯电源点灯。该水银灯作为用于对在波长248nm附近具有灵敏度的光刻胶进行曝光处理的光源使用，该水银灯具有发光管和在该发光管内彼此相对配置的阳极和阴极，并且该水银灯是在所述发光管内封入水银和氙气以外的稀有气体而成的，所述水银的封入量为20～40mg/cm3，所述阴极具有朝向前端直径减小的圆锥台状的电极头部，其前端平坦面的直径为0.3～0.5mm。 | ||
| 申请公布号 | CN202352616U | 申请公布日期 | 2012.07.25 |
| 申请号 | CN201120452116.0 | 申请日期 | 2011.11.15 |
| 申请人 | 优志旺电机株式会社 | 发明人 | 美安胜置;沟尻贵文 |
| 分类号 | H01J61/20(2006.01)I;H01J61/073(2006.01)I | 主分类号 | H01J61/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 谢丽娜;关兆辉 |
| 主权项 | 水银灯，作为用于对在波长248nm附近具有灵敏度的光刻胶进行曝光处理的光源使用，其特征在于，该水银灯具有发光管和在该发光管内彼此相对配置的阳极和阴极，并且该水银灯在所述发光管内封入有水银和氙气以外的稀有气体，所述水银的封入量为20～40mg/cm3，所述阴极具有朝向前端直径减小的圆锥台状的电极头部，其前端平坦面的直径为0.3～0.5mm。 | ||
| 地址 | 日本国东京都千代田区 | ||