正交点电接触标准棒的微细电极直径在线测量方法

摘要

本发明公开了属于微细特种加工领域的正交点电接触标准棒的微细电极直径在线测量方法。本发明采用标准棒轴线与待测微细电极轴线垂直安装方式，使电接触测量时微细电极外径与标准棒外径圆周点接触；采用直径较细的标准棒作为对准基准；采用对准运动方向与标准棒轴线方向正交的对准方式；利用微细电极与标准棒两次电接触，利用数控系统给出微细电极与标准棒之间的相对位置，计算出微细电极径向尺寸。本发明的有益效果是：1)提高了微细电极径向尺寸的在线测量精度。2)两次电接触测量时无需精确定位对准点，测量过程操作和控制简便。

主权项

正交点电接触标准棒的微细电极直径在线测量方法，其特征在于，包括以下步骤：1)以在线制作好的微细电极(2)的轴向作为Z轴，将直径为D的标准棒(1)固定安装在XY平面上，XY平面是以X轴和Y轴为基础而确立的，X轴、Y轴和Z轴两两相互正交，从而确立了三维直角坐标系；2)调节标准棒(1)轴线为X轴；3)通过数控系统控制微细电极(2)与标准棒(1)沿着Y轴正负两个方向相对运动，进行两次电接触，两次电接触的电压范围均为12V～24V，当进行两次电接触时，微细电极(2)位于标准棒(1)的两侧而且微细电极(2)外径与标准棒(1)外径圆周点接触；4)通过数控系统给出两次电接触的Y轴位置坐标Y1和Y2，则可测量出微细电极(2)径向尺寸为d＝|Y2‑Y1|‑D。