一种用飞秒激光脉冲序列对透明介质内部加工的方法

摘要

本发明涉及一种用飞秒激光脉冲序列对透明介质内部加工的方法，属于飞秒激光应用技术领域。首先利用飞秒激光系统1产生飞秒脉冲激光，利用半波片2和偏振片3的组合调整能量，通过脉冲整形器5把飞秒激光调制为飞秒间隔的脉冲序列；然后把步骤一所得到的脉冲序列激光通过反射镜8反射到物镜9中聚焦，借助CCD 7和照明光源12成像，移动6维精密电控平台11，使激光焦点位于水平放置的样品10内部；最后用计算机控制6维精密电控平台11运动，即可在样品10内部进行加工。本发明中通过脉冲整形器把飞秒激光调制为飞秒间隔的脉冲序列，在相同的激光能量下，该方法与传统飞秒激光加工方法相比，可以聚焦到材料内部更深处进行加工改性。

主权项

一种用飞秒激光脉冲序列对透明介质内部加工的方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤一：利用飞秒激光系统1产生飞秒脉冲激光，利用半波片2和偏振片3的组合调整能量，通过脉冲整形器5把飞秒激光调制为飞秒间隔的脉冲序列；步骤二：把步骤一所得到的脉冲序列激光通过反射镜8反射到物镜9中聚焦，借助CCD 7和照明光源12成像，移动6维精密电控平台11，使激光焦点位于水平放置的样品10内部；步骤三：用计算机控制6维精密电控平台11运动，即可在样品10内部进行加工。