基板吸附装置和基板搬送装置

摘要

本发明提供一种基板吸附装置和基板搬送装置，其能够根据导体晶片等基板的大的弯曲、翘曲情况选择基板的上面和下面的任一面作为吸附面从而可靠地吸附保持并搬送基板。本发明的晶片吸附装置的镊子(17)包括：根据伯努利原理从上面吸附保持半导体晶片(W)的第一吸附单元(171)，和利用外部空气的吸引从下面吸附保持半导体晶片(W)的第二吸附单元(172)。

主权项

一种基板搬送装置，其特征在于，包括：对保持在筐体内的多个基板以及各自的中央部的向上下方向的变位进行检测的检测装置；根据所述检测装置的检测结果对所述基板的变位的方向进行判别的判别单元；和具有吸附保持所述基板的吸附体的基板吸附装置，该基板搬送装置根据所述判别单元的判别结果使所述吸附体移动来搬送所述筐体内的基板，其中所述吸附体具有根据伯努利原理从上面吸附保持所述基板的第一吸附单元，和从下面真空吸附所述基板的第二吸附单元，当利用所述吸附体搬送所述基板时，按照下述方式自动选择所述第一吸附单元或者所述第二吸附单元：在利用所述检测装置检测出所述基板向下方翘曲或者向下方弯曲的检测结果，并在所述判别单元对该检测结果进行判别，不能利用所述第二吸附单元从下面真空吸附所述基板时，选择所述第一吸附单元。