高含氟芳香-脂肪负性光刻胶及用于制备聚合物波导器件

摘要

本发明属于聚合物光波导技术领域，具体涉及一种新型负性高含氟芳香-脂肪负性光刻胶组合物，按重量计，其由54.5～73wt％的高含氟芳香-脂肪环氧树脂、5.5～7.3wt％的光致产酸物和20～40wt％的有机溶剂组成，它可以通过改变光致产酸物的种类来调整光刻胶组合物的曝光波长。同时由于在氟化的环氧树脂中，大部分氢原子被氟原子取代，在通讯波段吸收较小，因此该光刻胶组合物可以在紫外波长200～400nm的范围内曝光并成像制作聚合物光波导器件。

主权项

1.一种高含氟芳香-脂肪负性光刻胶组合物，其特征在于：按重量计，由54.5～73wt％的高含氟芳香-脂肪环氧树脂、5.5～7.3wt％的光致产酸物和20～40wt％的有机溶剂组成，其中，高含氟芳香-脂肪环氧树脂为一种或几种结构式如(1)所示的化合物，Ar为R_F为-CH₂CF₂CF₂CF₂CF₂CH₂-、-CH₂CF₂CF₂CF₂CF₂CF₂CF₂CH₂-、或-CH₂CH₂CH₂CH₂CH₂-；m为5～15的整数，n为5～15的整数；光致产酸物为碘鎓盐或硫鎓盐。