| 发明名称 | 作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物的应用 | ||
| 摘要 | 本发明中作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物为肌胺酸及其盐类化合物，该腐蚀抑制剂用于化学机械研磨组成物，可于化学机械研磨时于加工对象的表面形成一层保护膜，以避免加工对象受到腐蚀，亦可改良因使用有腐蚀抑制剂(例如苯并三唑；B TA)，而于加工对象表面形成残渣的缺失。本发明最能显示发明特征的化学式。<img file="dda0000143981450000011.GIF" wi="1721" he="449" />式一 式二 式三<img file="dda0000143981450000012.GIF" wi="512" he="443" /> 式四 | ||
| 申请公布号 | CN102605375A | 申请公布日期 | 2012.07.25 |
| 申请号 | CN201210069130.1 | 申请日期 | 2008.03.03 |
| 申请人 | 盟智科技股份有限公司 | 发明人 | 张松源 |
| 分类号 | C23F11/173(2006.01)I | 主分类号 | C23F11/173(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人 | 艾晶;周春发 |
| 主权项 | 一种肌胺酸化合物或其盐类作为化学机械研磨组成物中的腐蚀抑制剂的应用。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县中坜市东园路33号 | ||