发明名称 |
同步实现阻止GaAs盖层氧化和提高氧化层热稳定性的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种在高温湿法氧化时同步实现阻止GaAs盖层氧化和提高AlxGa(1-x)As氧化层热稳定性的方法。该方法是通过在GaAs层上采用等离子体化学气相淀积法生长一定厚度的SiO2薄膜而实现的。利用本发明,既能提高AlxGa(1-x)As氧化层的热稳定性,减少后续高温退火过程对器件表面的损伤,同时减少了工艺步骤,使器件的制备成本下降;又能阻止GaAs盖层的氧化,使量子点的发光性质基本不受影响。这些优点为高性能光电子器件的制备提供了基础。 |
申请公布号 |
CN102610714A |
申请公布日期 |
2012.07.25 |
申请号 |
CN201210083214.0 |
申请日期 |
2012.03.27 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
周文飞;徐波;叶小玲;张世著;王占国 |
分类号 |
H01L33/00(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I;H01S5/343(2006.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
宋焰琴 |
主权项 |
一种同步实现阻止GaAs盖层氧化和提高氧化层热稳定性的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、在GaAs衬底上外延生长厚度为100~500nm的GaAs缓冲层;步骤2、在GaAs缓冲层上外延生长一定厚度的AlxGa(1‑x)As牺牲层,其中0.8≤x≤1;步骤3、在AlxGa(1‑x)As牺牲层上外延生长厚度为50~150nm的第一GaAs层;步骤4、在第一GaAs层上外延生长InAs量子点;步骤5、在InAs量子点上外延生长厚度为50~150nm的第二GaAs层,将InAs量子点埋住;步骤6、在第二GaAs层上生长一定厚度的SiO2薄膜;步骤7、采用紫外光刻和等离子体刻蚀方法制作圆柱形台面;步骤8、氧化前,在氮气保护和所需预热温度下,将样品放入氧化炉中预热一定时间;步骤9、预热结束后,关闭氮气通路,用一定流量的另一路氮气携带水蒸气经过样品,高温下侧向湿法氧化一定时间;步骤10、高温侧向湿法氧化结束后,将样品取出,在室温下自然冷却。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |