一种直拉式硅单晶生长炉用气冷套

摘要

本发明公开了一种直拉式硅单晶生长炉用气冷套，包括同轴设置的法兰一、内套筒和外套筒，法兰一的盘体上开有充气孔和环形凹槽一，内套筒固定在法兰一盘体的内部侧壁上，环形凹槽一与内套筒形成缓冲腔，且充气孔与缓冲腔相通，外套筒固定在法兰一的盘体下端面上且位于内套筒的外侧，且在外套筒和内套筒之间形成充气缝隙，充气缝隙与缓冲腔相通。本发明结构简单，设计合理，能提高系统的稳定性，并能有效地提高硅单晶的生长速度，提高生产效率，广泛适用于半导体硅单晶生长设备和其它单晶生长设备中。

主权项

一种直拉式硅单晶生长炉用气冷套，其特征在于，包括同轴设置的法兰一（1）、内套筒（4）和外套筒（9），所述法兰一（1）的盘体上开有一径向方向的充气孔（2），所述内套筒（4）固定在所述法兰一（1）盘体的内部侧壁上，在所述法兰一（1）的盘体内侧开有环形凹槽一，所述环形凹槽一与内套筒（4）形成环形且密闭的缓冲腔（3），所述充气孔（2）与所述缓冲腔（3）相通；所述外套筒（9）固定在法兰一（1）的盘体下端面上且位于内套筒（4）的外侧，所述外套筒（9）和内套筒（4）之间形成环形的充气缝隙（10），所述充气缝隙（10）与所述缓冲腔（3）相通；所述外套筒（9）的上端固定有法兰二（7），所述法兰二（7）与所述法兰一（1）通过螺栓固定连接，在所述法兰二（7）上且位于所述外套筒（9）的内侧呈环形分布均匀开有多个初次分流孔（6），在法兰一（1）的盘体上且位于缓冲腔（3）和法兰二（7）之间开有环形槽，并通过所述环形槽和初次分流孔（6）使缓冲腔（3）和充气缝隙（10）相通。