一种真空放电等离子体参数的测量装置及方法

摘要

本发明公开了属于等离子体诊断技术领域的一种真空放电等离子体参数的测量装置及方法。此发明主要特征是采用施加负电位的栅网对等离子体进行控制。一种真空放电等离子体参数的测量装置的结构如下：栅网、第一探针和第二探针依次安装在等离子体传输通道上，栅网连接控制信号发生器，第一探针连接DC1直流电源和C1电容的公共节点，第二探针连接DC2直流电源和C2电容的公共节点。本发明的有益效果为：1)对单个或连续脉冲放电产生的、在不同空间或时间点处分布的等离子体特性进行诊断。2)通过施加适当的阻挡电位就能实现等离子体的开断控制。3)便于分析放电等离子体在空间的传输特性。4)结构简单，测量精度高，抗干扰能力强。

主权项

一种真空放电等离子体参数的测量装置，其特征在于，它的结构如下：栅网(G)、第一探针(P1)和第二探针(P2)依次安装在等离子体传输通道上，等离子体传输通道位于圆筒状物体(2)的内部，等离子体源和圆筒状物体(2)均位于真空室中，栅网(G)通过屏蔽线(1)连接控制信号发生器，第一探针(P1)通过屏蔽线(1)连接DC1直流电源和C1电容的公共节点，第二探针(P2)通过屏蔽线(1)连接DC2直流电源和C2电容的公共节点；GND地电位分别连接R1电阻、R2电阻、R3电阻、R4电阻和数据采集卡，DC1直流电源连接R1电阻，DC2直流电源连接R3电阻，数据采集卡分别连接R3电阻、R1电阻、DC1直流电源、DC2直流电源和计算机。