| 发明名称 | 一种有机溶剂薄膜干燥装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及半导体干燥装置技术领域，具体地说是一种有机溶剂薄膜干燥装置，包括干燥箱和盖板，所述干燥箱顶端布置有溶剂注入机构，所述干燥箱底端设有进液口和排液口，所述进液口连接进液管道，所述排液口连接排液管道，所述排液管道中设置有排液控制机构，所述排液控制机构包括真空吸取器和流体控制阀，所述真空吸取器和流体控制阀安装在排液管道上；本发明同现有技术相比，结构新颖、简单，不仅避免了IPA蒸汽与清洗液混溶，而且由于被干燥工件始终处于静止状态，则避免了因移动工件而产生的内应力破坏。 | ||
| 申请公布号 | CN102610489A | 申请公布日期 | 2012.07.25 |
| 申请号 | CN201210081282.3 | 申请日期 | 2012.03.23 |
| 申请人 | 冠礼控制科技（上海）有限公司 | 发明人 | 简建至;江献茂;黄自柯 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;F26B7/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人 | 杨军 |
| 主权项 | 一种有机溶剂薄膜干燥装置，包括干燥箱和盖板，其特征在于：所述干燥箱顶端布置有溶剂注入机构，所述干燥箱底端设有进液口和排液口，所述进液口连接进液管道，所述排液口连接排液管道，所述排液管道中设置有排液控制机构。 | ||
| 地址 | 200131 上海市浦东新区外高桥保税区富特西一路333号长城大楼第一层A1-2部位 | ||