发明名称 |
基于修补机台的玻璃基板补刻号方法及玻璃基板补刻号装置 |
摘要 |
本发明提供一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法及玻璃基板补刻号装置,所述方法包括如下步骤:步骤1、提供修补机台、及数字微镜芯片,所述修补机台包括本体、承载面板、控制单元、存储单元、及激光头;步骤2、将数字微镜芯片安装于激光头上,并使数字微镜芯片与所述控制单元电性连接;步骤3、将待刻号的玻璃基板放置于承载面板上,该玻璃基板上形成有光阻层;步骤4、控制单元调用存储单元中对应的样式图形文件,并将该样式图形文件中的样式图形信号发送至数字微镜芯片,数字微镜芯片根据该样式图形信号显示该样式图形;步骤5、激光头发出激光,该激光经由数字微镜芯片照射于玻璃基板上,对玻璃基板上光阻层进行曝光。 |
申请公布号 |
CN102608875A |
申请公布日期 |
2012.07.25 |
申请号 |
CN201210084571.9 |
申请日期 |
2012.03.27 |
申请人 |
深圳市华星光电技术有限公司 |
发明人 |
李珊 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市德力知识产权代理事务所 44265 |
代理人 |
林才桂 |
主权项 |
一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、提供修补机台、及数字微镜芯片,所述修补机台包括本体、设于本体上的承载面板、设于本体上的控制单元、电性连接于该控制单元的存储单元、及设于本体上且位于该承载面板上方的激光头,该激光头电性连接该控制单元,所述存储单元用于存储样式图形文件;步骤2、将数字微镜芯片安装于激光头上,并使数字微镜芯片与所述控制单元电性连接;步骤3、将待刻号的玻璃基板放置于承载面板上,该玻璃基板上形成有光阻层;步骤4、控制单元调用存储单元中对应的样式图形文件,并将该样式图形文件中的样式图形信号发送至数字微镜芯片,数字微镜芯片根据该样式图形信号显示该样式图形;步骤5、激光头发出激光,该激光经由数字微镜芯片照射于玻璃基板上,对玻璃基板上光阻层进行曝光。 |
地址 |
518000 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 |