陶瓷封装的片式石英晶体频率器件的制造方法

摘要

本发明涉及一种陶瓷封装的片式石英晶体频率器件及其制造方法。该频率器件包括上、下盖板和晶片，晶片位于下盖板凹坑中，下盖板凹坑长度、宽度大于晶片长度、宽度，下盖板凹坑深度大于晶片厚度；该频率器件还包括内电极、外电极。该制造方法步骤如下：一、制作一片带m×n个列阵凹坑陶瓷下盖板；二、在下盖板凹坑内点上导电胶，将石英晶片一端与导电胶粘合后完全落位在下盖板凹坑内；当下盖板凹坑内所有位置都贴满晶片后和上盖板粘合；三、将复合片切割成产品单元；四、引出产品单元内电极，形成独石型片式器件。本发明不仅结构简单、尺寸小、气密性好，而且可靠；制造频率器件方法不仅简单，而且制造成本低、效率高。

主权项

一种陶瓷封装的片式石英晶体频率器件的制造方法，其特征在于，该制造方法的具体步骤如下：步骤一、根据产品平面尺寸要求，制作二片长宽尺寸完全一致的陶瓷片分别作为上、下盖板待用，具体为：(1)根据产品平面尺寸要求，制作二片长宽尺寸完全一致的陶瓷片，其中一片作为上盖板待用；(2)另外一片作为下盖板，利用喷沙方法在其中一面上形成m*n个列阵下凹坑，其中，m≥1，n≥1；或制作一个带m×n个列阵通孔的孔板和一底板并将两者粘结在一起构成下盖板；(3)在上述陶瓷下盖板外侧无凹坑面印刷银浆，烧结后形成外电极；(4)在陶瓷下盖板的内侧有凹坑面制备内电极待用；步骤二、在下盖板凹坑内点上导电胶后，将石英晶片一端与导电胶粘合后完全落位在下盖板凹坑内；当下盖板凹坑内的所有位置都贴满晶片后，放到专用粘片工作台上和上盖板粘合，具体为：(1)将石英晶片用导电胶分别粘到下盖板凹坑内的m×n个位置上；(2)粘好晶片后，按产品电性能要求，对m*n个位置上的石英晶片的谐振频率分别进行调整，使频率精度符合产品电性能要求；(3)将粘合有晶片的下盖板放到粘片工作台上和上盖板粘合；为了加大振动空腔，则可将上盖板制成一片带m×n列阵凹坑的陶瓷上盖板；加热加压后，形成上、下盖板粘在一起的复合片；步骤三、将复合片按产品尺寸要求，切割成产品单元；步骤四、引出产品单元的内电极，形成独石型片式器件：将切割后的产品单元装入专用蒸发夹具，进行端面电极蒸发，使内电极和外电极导通。