真空处理设备以及衬底转移方法

摘要

本发明涉及一种包括用于衬底转移的机械手的真空处理设备以及一种衬底转移方法。根据本发明的机械手包括驱动机构、可转动地连接到驱动机构的第一臂、可转动地连接到第一臂的第二臂、和可转动地布置在第二臂的远端处的X状的端部执行器。在端部执行器的四个远端中，两个远端包括可以沿着一个方向保持衬底的保持单元，并且剩余的两个远端包括可以沿着相反的方向保持衬底的保持单元。

主权项

一种真空处理设备，包括：处理室，在所述处理室中进行真空处理；衬底转移室，其连接到所述处理室，并且包括存储多个衬底的衬底存储单元；衬底传输路径，其行进通过所述处理室和所述衬底转移室；多个托架，在所述多个托架中的每个都安装有至少两个衬底的同时，所述多个托架沿着所述衬底传输路径传输；以及衬底转移机械手，其将存储在所述衬底存储单元中的衬底转移到停止在衬底转移位置处的托架上，所述衬底转移位置设定到所述衬底转移室中的衬底传输路径中的预定位置，其中，所述衬底转移机械手包括：驱动轴，连接到所述驱动轴的第一臂，可转动地连接到所述第一臂的第二臂，以及可转动地布置在所述第二臂上的端部执行器，所述端部执行器包括第一保持组和第二保持组，所述第一保持组包括每个都沿着一个方向保持至少两个衬底的不少于两个的保持单元，所述第二保持组包括每个都沿着相反的方向保持至少两个衬底的不少于两个的保持单元，并且其中，当所述第一保持组的所述保持单元与停止在所述衬底转移位置处的托架相对时，所述第二保持组的所述保持单元面对所述衬底存储单元。