发明名称
摘要
申请公布号 JP4983601(B2) 申请公布日期 2012.07.25
申请号 JP20070524494 申请日期 2005.07.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/00;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
地址