发明名称 Cleaning plate for inducing turbulent flow of a processing chamber cleaning glass
摘要
申请公布号 USD664170(S1) 申请公布日期 2012.07.24
申请号 US201129386850F 申请日期 2011.03.04
申请人 CHUNG HUA;DONG XIZI;MAUNG KYAWWIN JASON;HANAWA HIROJI;KANG SANG WON;QUACH DAVID H.;OLGADO DONALD J. K.;BOUR DAVID;HSU WEI-YUNG;TAM ALEXANDER;CHANG ANZHONG;ACHARYA SUMEDH;APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 CHUNG HUA;DONG XIZI;MAUNG KYAWWIN JASON;HANAWA HIROJI;KANG SANG WON;QUACH DAVID H.;OLGADO DONALD J. K.;BOUR DAVID;HSU WEI-YUNG;TAM ALEXANDER;CHANG ANZHONG;ACHARYA SUMEDH
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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