具有照明设备之缺陷检测装置

摘要

一种具有照明设备之缺陷检测装置，包含有第一与第二取像单元，可分别自不同的角度取得待测物影像，照明光源装置安装于取像单元之邻近处，而发射照明光束，第一光学镜片设置于照明光束的光路上，照明光束照射于第一光学镜片后将部分反射，使第一取像单元得以取得待测物的影像，照明光束也将部分穿透第一光学镜片，而照射于第二光学镜片，此时第二光学镜片将反射照明光束于待测物上，让第二取像单元取得待测物另一个角度的影像。