薄膜电晶体之制造方法

摘要

一种薄膜电晶体之制造方法，薄膜电晶体含有通道层11，通道层11具有氧化铟，所述方法包括形成氧化铟膜作为通道层，以及使所形成的氧化铟膜在氧化氛围中受到退火。