根据电性测试资料控制闸极绝缘层之性质及特征的方法以及执行该方法之系统

摘要

本发明根据电性测试资料一般着重于控制闸极绝缘层之性质及特征之各种方法，以及执行该方法之系统。在其中一个说明的实施例中，该方法包括执行至少一个电性测试于至少一个半导体装置上、根据来自该电性测试所获得之电性资料，决定待执行之至少一种制程操作之至少一个参数，以形成至少一层闸极绝缘层于后续形成的半导体装置上，及执行包括该决定的参数之至少一种制程操作以形成该闸极绝缘层。