| 摘要 |
本发明提供一种流量检测系统，用以检测一气体管路系统之流量，包括：一第一阻断阀；一流量控制阀，设置于一第一阻断阀下游端；一压力感测器，用以量测由流量控制阀下游端之压力，且流量检测系统依据压力感测器所量得之压力以量测流量。此流量检测系统更包括：一基准储存装置，于流量控制阀正常运作下，应用藉由总和由压力感测器量得之压力值所计算得出用以储存之一基准值及一异常侦测装置，当制程气体供至流量控制装置过程中，流经第一阻断阀并受流量控制阀控制流量以供应至压力感测器，藉由总和压力感测器量得之压力值以计算一总和压力值且比较总和压力值与基准值，用以侦测制程气体的异常流量。 |
