光学邻近效应修正法

摘要

一种光学邻近效应修正法，特别是关于一种光学邻近效应修正法之修正步骤(OPC correction recipe)，包括以下步骤：建立光学邻近效应修正法之模型，并在接下来的布局图案片段修正步骤时，先设定复数个预定目标点与复数个预定切点，并依据上述复数个预定目标点与复数个预定切点所产生出之修正图案的影像品质(image quality)，于复数个预定目标点与复数个预定切点中选定作为布局图案片段修正之目标点与切点。