摘要 |
本发明之目的在于提供一种可提高测试效率之半导体测试装置。被测试元件包含有:驱动器14,系用以产生一对被测试元件输出之驱动讯号者;可变延迟电路12,系设于驱动器14之前段,而可以可变更之方式使驱动器14所输出之驱动讯号的输出时序延迟者;位准用暂存器16,系用以设定驱动器14所输出之驱动讯号的输出位准者;修正值记忆体26,系可输出修正资料者,前述修正资料系对应于以输出位准为预定值时为基准而输出位准由该预定值变更时之驱动讯号之上升时序或下降时序的偏差;振幅修正值用暂存器28,系可考量修正值记忆体26所输出之修正资料来设定可变延迟电路12之延迟量者;及,加法电路30等。 |