| 摘要 |
本发明揭示一种基板保持装置，其能满足对于一较小尺寸设计之小巧装置的需求，同时确保基板于处理液体中之充分浸入深度。该基板保持装置包含：基板保持具(84)，其藉由使该基板(W)之表面的周边部份与第一密封构件(92)接触而支撑基板(W)；及基板压按部件(85)，其相对该基板保持具(84)降低，以便往下压按藉由该基板保持具(84)所保持之基板(W)，藉此使得该第一密封构件(92)与该基板(W)压力式接触；其中该基板压按部件(85)系设有第二环形密封构件(170)，该第二环形密封构件与该基板保持具(84)之环形保持部件的上方表面压力式接触，藉此密封该基板压按部件(85)之周边区域。 |
