基板浮上装置

摘要

使面板(2)浮上的状态下，藉由升降结构(6)使装设于支撑元件(10)先端的接触元件(13)上升，使此之接触元件(13)接触面板(2)的内侧表面，进而限制浮上的面板(2)移动。