于老化测试期间调节温度的系统及方法

摘要

本发明描述用于在老化测试期间降低温度消散之系统及方法。受测试元件各受到一体部偏压电压。可使用体部偏压电压来控制接合温度（譬如，在受测试元件处所测量出之温度）。可利用逐一元件的方式来调整施加至各受测试元件之体部偏压电压以在各元件处达成基本上相同的接合温度。