发明名称 EVAPORATION SOURCE, VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND METHOD OF FILM FORMATION
摘要
申请公布号 KR101167547(B1) 申请公布日期 2012.07.20
申请号 KR20097019947 申请日期 2008.03.17
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;C23C14/12 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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