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Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Vorherbestimmung/Detektierung eines Polierendpunkts bereitzustellen und ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Aufzeichnung einer Filmdicke in Echtzeit bereitzustellen, wobei Joulescher Wärmeverlust aufgrund von Wirbelstrom auf ein Minimum unterdrückt ist, und zwar zur präzisen Vorherbestimmung/Detektierung eines Polierendpunkts, und zur präzisen Kalkulation eines verbleibenden zu entfernenden Filmdickenbetrags, und zur präzisen Kalkulierung einer Polierrate und ähnlichen Daten und zwar in Echtzeit, zur präzisen Evaluation, ob der vorbestimmte leitende Film geeignet entfernt ist. Erfindungsgemäß wird ein Verfahren bereitgestellt, bei dem ein Induktor 36 eines Hochfrequenzinduktorsensors benachbart zu einem vorbestimmten leitenden Film 28 angeordnet ist, und wobei eine magnetische Flussänderung in den vorbestimmten leitenden Film 28 induziert wird und von einem von dem Induktor 36 gebildeten magnetischen Fluss stammt, und die magnetische Flussänderung aufgezeichnet wird, und wobei unter Verwendung der magnetischen Flussänderung beim Erreichen einer Filmdicke, die der Skin-Tiefe beim Fortschreiten der Polierung entspricht und mit dem Material des vorbestimmten leitenden Films 28 als Faktor, ein Teilbereich des magnetischen Flusses zur Vorherbestimmung eines Polierendpunkts bei der Änderung des magnetischen Flusses detektiert wird, und ein Polierendpunkt aus dem Änderungsbereich des magnetischen Flusses vorherbestimmt wird, und wobei außerdem eine Polierrate und ein verbleibender zu entfernender Filmdickenbetrag in Echtzeit berechnet werden. |
