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发明名称
SYSTEM AND METHOD FOR MANAGING POWER SUPPLIED TO A PLASMA CHAMBER
摘要
申请公布号
KR101164889(B1)
申请公布日期
2012.07.19
申请号
KR20097005219
申请日期
2007.09.13
申请人
发明人
分类号
H01H9/50;H05H1/24;H05H1/36
主分类号
H01H9/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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