一种表面具有平滑金字塔结构的太阳能电池单晶硅衬底的制备方法

摘要

本发明公开了一种表面具有平滑金字塔结构的太阳能电池单晶硅衬底的制备方法，其步骤包括：清洗单晶硅片，表面机械损伤层的去除，表面氧化层和金属杂质的去除，制绒得到金字塔结构，对单晶硅片表面的金字塔结构进行碱液的平滑处理，最后清洗和去除单晶硅片表面残余的碱液。由于采取了上述技术方案，本发明所制得的太阳能电池单晶硅衬底具有平滑的金字塔塔尖，这有助于非晶硅薄膜的沉积；而且反射率变化较少，表面仍具有较好的减反射效果；由于酸腐蚀处理金字塔尖端具有强腐蚀性、强毒性和强氧化性，对环境和人的危害比较大，而且碱液的价格更低廉，因此本发明的方法相对于传统方法具时间短、环境较友好、危害性小、生产成本低，有利于工业应用。

主权项

一种表面具有平滑金字塔结构的太阳能电池单晶硅衬底的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将经过清洗和烘干的单晶硅片放入18～20wt％的NaOH或KOH溶液中，75‑90℃加热4‑6min，清洗并烘干；(2)将单晶硅片放入1‑5wt％氢氟酸中浸泡5‑10min，清洗并烘干；(3)将单晶硅片加热至80‑90℃含有2‑3wt％的NaOH或KOH的异丙醇和水的混合溶液中反应30‑35min；清洗并烘干；(4)将单晶硅片浸入80‑90℃的1‑3wt％的NaOH或KOH溶液中反应10‑40s，然后将单晶硅片放入1‑3wt％盐酸溶液中浸泡5‑10min，清洗并烘干。