薄片积层体的制造方法及薄片积层体的制造装置

摘要

本发明提供一种能在高精度定位各个薄片的基础上，短时间内高效率地制成薄片积层体的薄片积层体的制造方法，同时，提供一种能高效率地制造薄片积层体的薄片积层体的制造装置。薄片积层体的制造装置(41)按照顺序排成一列，设有一个一个搬入薄片的搬入台(2)，积层被搬运的薄片然后临时接合到前面的薄片的临时接合台(3)，加热临时接合的积层薄片的同时加压然后热压接的积层台(4)，以及搬出热压接的薄片积层体的搬出台(5)。在设置在临时接合台(3)上的对准装置(12)的下侧的吸附板上，内置有识别对准标志的照相机以及临时接合定位薄片的电热烙铁。

主权项

一种由多个陶瓷薄片积层而成的薄片积层体的制造方法，其特征在于将薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上设有固定地支承着的支承部件；在临时接合台上设有可在薄片上面被吸附保持的状态下根据对准标志位置信息定位薄片的对准装置，在对准装置中具有可在支承部件的水平面内，向X方向、Y方向或旋转方向移动的对准台，设于对准台上的可吸附保持薄片上面的吸附板，设于支承部件上的通过对准台和吸附板的贯通孔识别薄片的对准标志位置的可调整位置的照相机，之后使用所述照相机在临时接合台上识别薄片的对准标志位置，再根据该位置信息定位薄片，之后，将下一个薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上定位该薄片后，积层到先定位的薄片的同时部分加热进行临时接合，之后，将临时接合的薄片搬运到积层台，在积层台上加热临时接合状态的薄片的同时加压进行热压接，在积层台上热压接薄片的期间，在临时接合台上定位下一个薄片的位置，之后将定位的薄片积层到先热压接的薄片上的同时部分加热进行临时接合，之后，将临时接合的薄片搬运到积层台进行热压接，之后反复进行这些操作，热压接多个薄片，制造积层为一体的薄片积层体。