掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法

摘要

本发明涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。通过以下方法制备适合作为EUV光刻部件的所述掺杂二氧化钛的石英玻璃：通过燃烧器喷嘴供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体以及氢气和氧气，使反应气体氧化或火焰水解以形成合成氧化硅-二氧化钛精细颗粒，在旋转靶上沉积二氧化硅-二氧化钛精细颗粒，及同时熔化和玻璃化该沉积的颗粒以生长掺杂二氧化钛的石英玻璃锭。缩回靶以保证锭生长前沿距离燃烧器喷嘴至少250mm。

主权项

一种制备掺杂二氧化钛的石英玻璃的方法，包括以下步骤：通过燃烧器嘴与可燃气体和助燃气体一起供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体，使反应气体进行氧化或火焰水解以形成合成的氧化硅‑二氧化钛细颗粒，在旋转靶上沉积该氧化硅‑二氧化钛细颗粒，且同时熔化和玻璃化该沉积的颗粒以生长掺杂二氧化钛的石英玻璃锭，该方法还包括以使得燃烧器嘴和锭的生长前沿之间的距离为至少250mm的速率缩回靶的步骤。