发明名称
摘要
申请公布号 JP4980610(B2) 申请公布日期 2012.07.18
申请号 JP20050356677 申请日期 2005.12.09
申请人 发明人
分类号 C23C14/04;C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
地址