制造薄膜层的方法

摘要

一种制备图案化层的方法，该方法包括指引一束蒸发材料朝向反射器使该束蒸发材料撞击反射器的撞击表面并从反射器那里改变方向(通过荫罩中的一个或多个小孔)，落在沉积基底上形图案化的材料层。

主权项

一种制备图案化层的方法，该方法包括：将一束汽化了的材料导向反射器，使得汽化了的材料束撞击所述反射器的撞击表面，并在荫罩中通过一个或多个孔从所述反射器将其重新定向到沉积基底上，以形成图案化的材料层，其中所述荫罩被放置在所述沉积基底上。