发明名称 |
一种卡盘及其固定装置 |
摘要 |
本发明公开了一种卡盘的固定装置,包括:设置卡盘本体(1)上的滑轨(3);滑动配合在所述滑轨(3)上的滑块(2);一端连接在所述滑块(2)上,另一端连接在所述卡盘本体(1)上的伸缩装置(4)。本发明在卡盘本体上设置滑轨,并设置与该滑轨滑动配合的滑块,通过伸缩装置的伸缩运动,可带动滑块沿滑轨前后移动。从而本发明提供的固定装置可平行的扣住蓝膜胶带,不易撞击蓝膜胶带,避免了合页式的翻转运动对蓝膜胶带的碰撞和损伤。本发明还公开了一种具有上述固定装置的卡盘。 |
申请公布号 |
CN102593032A |
申请公布日期 |
2012.07.18 |
申请号 |
CN201110020422.1 |
申请日期 |
2011.01.18 |
申请人 |
江阴格朗瑞科技有限公司 |
发明人 |
张巍巍 |
分类号 |
H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
常亮;李辰 |
主权项 |
一种卡盘的固定装置,其特征在于,包括:设置卡盘本体(1)上的滑轨(3);滑动配合在所述滑轨(3)上的滑块(2);一端连接在所述滑块(2)上,另一端连接在所述卡盘本体(1)上的伸缩装置(4)。 |
地址 |
214421 江苏省无锡市江阴市华士镇红旗路8号 |