发明名称 一种卡盘及其固定装置
摘要 本发明公开了一种卡盘的固定装置,包括:设置卡盘本体(1)上的滑轨(3);滑动配合在所述滑轨(3)上的滑块(2);一端连接在所述滑块(2)上,另一端连接在所述卡盘本体(1)上的伸缩装置(4)。本发明在卡盘本体上设置滑轨,并设置与该滑轨滑动配合的滑块,通过伸缩装置的伸缩运动,可带动滑块沿滑轨前后移动。从而本发明提供的固定装置可平行的扣住蓝膜胶带,不易撞击蓝膜胶带,避免了合页式的翻转运动对蓝膜胶带的碰撞和损伤。本发明还公开了一种具有上述固定装置的卡盘。
申请公布号 CN102593032A 申请公布日期 2012.07.18
申请号 CN201110020422.1 申请日期 2011.01.18
申请人 江阴格朗瑞科技有限公司 发明人 张巍巍
分类号 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/687(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 常亮;李辰
主权项 一种卡盘的固定装置,其特征在于,包括:设置卡盘本体(1)上的滑轨(3);滑动配合在所述滑轨(3)上的滑块(2);一端连接在所述滑块(2)上,另一端连接在所述卡盘本体(1)上的伸缩装置(4)。
地址 214421 江苏省无锡市江阴市华士镇红旗路8号