发明名称 半导体装置以及功率变换装置
摘要 提供了一种半导体装置,能够在保持低损失和高耐压的同时,提高栅极驱动电路对在导通开关时间段中的dv/dt的控制性。该半导体装置设置有:第1导电型的第1半导体层(4);在其表面附近形成的第2导电型的第2半导体层(2);与其电连接的第1主电极(11),与第1半导体层(4)邻接且在与第2半导体层(2)相反侧的表面附近形成的第2导电型的第3半导体层(6);在其上部上选择性地设置的第1导电型的第4半导体层(7);与第3半导体层(6)以及第4半导体层(7)电连接的第2主电极(14);其侧面与第4半导体层(7)和第3半导体层(6)接触且达到第1半导体层(4)的沟槽(17);沿着该侧面通过多晶硅的边壁形成的栅极电极(9);以及在沟槽(17)内离开栅极电极(9)而设置且与第2主电极(14)电连接的多晶硅电极(18)。
申请公布号 CN102593167A 申请公布日期 2012.07.18
申请号 CN201210001137.X 申请日期 2012.01.04
申请人 株式会社日立制作所 发明人 白石正树;森睦宏;铃木弘;渡边聪
分类号 H01L29/739(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I;H01L25/07(2006.01)I;H02M1/00(2007.01)I 主分类号 H01L29/739(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 张宝荣
主权项 一种半导体装置,其特征在于,设置有:第1导电型的第1半导体层;在该第1半导体层的表面附近形成的第2导电型的第2半导体层;与所述第2半导体层电连接的第1主电极;与所述第1半导体层邻接,且在与所述第2半导体层相反侧的表面附近形成的第2导电型的第3半导体层;在该第3半导体层的上部选择性地设置的第1导电型的第4半导体层;与所述第3半导体层以及所述第4半导体层电连接的第2主电极;侧面与所述第4半导体层和所述第3半导体层接触,且到达所述第1半导体层的沟槽;沿着该沟槽的所述侧面通过多晶硅的边壁形成的栅极电极;以及在所述沟槽内离开所述栅极电极而设置,且与所述第2主电极电连接的多晶硅电极。
地址 日本东京都