发明名称 |
半导体装置以及功率变换装置 |
摘要 |
提供了一种半导体装置,能够在保持低损失和高耐压的同时,提高栅极驱动电路对在导通开关时间段中的dv/dt的控制性。该半导体装置设置有:第1导电型的第1半导体层(4);在其表面附近形成的第2导电型的第2半导体层(2);与其电连接的第1主电极(11),与第1半导体层(4)邻接且在与第2半导体层(2)相反侧的表面附近形成的第2导电型的第3半导体层(6);在其上部上选择性地设置的第1导电型的第4半导体层(7);与第3半导体层(6)以及第4半导体层(7)电连接的第2主电极(14);其侧面与第4半导体层(7)和第3半导体层(6)接触且达到第1半导体层(4)的沟槽(17);沿着该侧面通过多晶硅的边壁形成的栅极电极(9);以及在沟槽(17)内离开栅极电极(9)而设置且与第2主电极(14)电连接的多晶硅电极(18)。 |
申请公布号 |
CN102593167A |
申请公布日期 |
2012.07.18 |
申请号 |
CN201210001137.X |
申请日期 |
2012.01.04 |
申请人 |
株式会社日立制作所 |
发明人 |
白石正树;森睦宏;铃木弘;渡边聪 |
分类号 |
H01L29/739(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I;H01L25/07(2006.01)I;H02M1/00(2007.01)I |
主分类号 |
H01L29/739(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
张宝荣 |
主权项 |
一种半导体装置,其特征在于,设置有:第1导电型的第1半导体层;在该第1半导体层的表面附近形成的第2导电型的第2半导体层;与所述第2半导体层电连接的第1主电极;与所述第1半导体层邻接,且在与所述第2半导体层相反侧的表面附近形成的第2导电型的第3半导体层;在该第3半导体层的上部选择性地设置的第1导电型的第4半导体层;与所述第3半导体层以及所述第4半导体层电连接的第2主电极;侧面与所述第4半导体层和所述第3半导体层接触,且到达所述第1半导体层的沟槽;沿着该沟槽的所述侧面通过多晶硅的边壁形成的栅极电极;以及在所述沟槽内离开所述栅极电极而设置,且与所述第2主电极电连接的多晶硅电极。 |
地址 |
日本东京都 |