真空镀膜传动机构用磁流体密封装置

摘要

一种真空镀膜传动机构用磁流体密封装置，设置于真空箱侧壁与传动机构的连接部位传动机构包括传动轴和位于转动轴上的两轴承，密封装置包括极靴、永久磁体和磁流体所述的永久磁体、极靴和传动轴构成的磁性回路，磁流体注入于极靴和传动轴之间。本发明的真空镀膜机用传动机构，在密封位置，利用了磁流体对磁场的响应特性。把磁性液体注入到由高性能的永磁体、导磁良好的极靴和传动轴所构成的导磁回路的间隙中，会形成数个液体“Ο”型圈。当磁流体受压差作用时，会在非均匀磁场中移动，这时不均匀的磁场就会使磁流体产生对抗压差的磁力进而达到新的平衡，这样就起到了密封的作用。

主权项

一种真空镀膜传动机构用磁流体密封装置，该密封装置设置于真空箱侧壁（9）与传动机构的连接部位，其中，传动机构包括传动轴（1）和位于转动轴上的两轴承（4），其特征是所述的密封装置包括极靴（5）、永久磁体（6）和磁流体（7），所述的极靴（5）和永久磁体（6）均套装在传动轴（1）上，永久磁体（6）位于极靴（5）之间，所述的永久磁体（6）、极靴（5）和传动轴（1）构成的磁性回路，磁流体（7）注入于极靴（5）和传动轴（1）之间。