晶片下片排片机

摘要

本发明为一种晶片下片排片机，其包括有一下片机、一排片筛片机与一洗净机；该下片机可将研磨盘输送至各液体槽内进行清洗，藉此将该研磨盘与晶片间的蜡质溶解，该排片筛片机具有一机械手臂以及一视觉检测装置，该机械手臂可由下片机处夹取晶片并配合视觉检测装置检查有无破损的情形，如晶片完整再移动至另一侧的晶片载座内，该晶片载座可被运送进入洗净机中，以数道溶剂槽及纯水槽将晶片残留的蜡质洗净，最后再以氮气烘干并出料，本发明改良了现有技术的晶片制程需以人工进行并具有容易产生破片的缺点，将各制程整合并建立自动化的制程与提高生产良率。

主权项

一种晶片下片排片机，其特征在于，包括有一下片机、一排片筛片机与一洗净机；该下片机的机架上设有一进料输送装置、复数个溶剂槽、至少一纯水槽、一升降装置、一横移装置以及一出料输送装置；该进料输送装置设置于机架的一端处；该溶剂槽内设有溶剂，各溶剂槽依序设置于机架上并以其一端相邻于该进料输送装置；该纯水槽内设有纯水，该纯水槽设置于溶剂槽的另一端的机架上；该升降装置包括有复数升降臂，各升降臂分别设置于各槽体的上方处，该升降臂可降下位于槽体内或升起位于槽体上方；该横移装置设置于各槽体的一侧，该横移装置具有复数个推杆，在各槽体的一侧分别设有一推杆，该推杆可朝向于机架的一端推动或收回；该出料输送装置设置于机体的另一端处；该排片筛片机包括有一机械手臂与一视觉检测装置；该机械手臂相邻于该下片机的出料输送装置；该视觉检测装置的位置相对于该机械手臂；该洗净机的机架上设有一进料输送装置、至少一溶剂槽、复数个纯水槽、至少一氮气烘干装置、一升降装置、一横移装置以及一出料输送装置；该进料输送装置设置于机架的一端并相邻于该机械手臂；该溶剂槽内设有溶剂，该溶剂槽设置在机架上并相邻于进料输送装置处；该纯水槽内设有纯水，各纯水槽依序设置于机架上并以一端相邻于该溶剂槽；该氮气烘干装置设置于机架上并相邻于该纯水槽的另一端；该升降装置包括有复数升降臂，各升降臂分别设置于各槽体的上方处，该升降臂可降下位于槽体内或升起位于槽体上方；该横移装置设置于各槽体的一侧，该横移装置具有复数个推杆，在各槽体的一侧分别设有一推杆，该推杆可朝向于机架的一端推动或收回；该出料输送装置设置于机架的另一端，并相邻于该氮气烘干装置。