| 发明名称 | 聚硅烷-聚硅氮烷共聚物及其制备和使用方法 | ||
| 摘要 | 聚硅烷-聚硅氮烷共聚物包含式(Ⅰ)的聚硅烷单元和式(Ⅱ)的聚硅氮烷单元，其中每个R<sup>1</sup>和每个R<sup>2</sup>各自独立地选自H、Si和N原子，R<sup>3</sup>选自H、Si或C原子，a≥1，b≥1，且值(a+b)≥2。该聚硅烷-聚硅氮烷共聚物可与溶剂一起被配制在组合物中。该聚硅烷-聚硅氮烷共聚物可用于填充沟槽的PMD和STI应用，其中所述沟槽具有100nm或更小的宽度和至少(6)的高宽比。可通过用伯胺胺化每个分子具有(2)个或更多个硅原子的全氯聚硅烷制备该聚硅烷-聚硅氮烷共聚物。<img file="dda0000157140580000011.GIF" wi="1181" he="299" /> | ||
| 申请公布号 | CN102597066A | 申请公布日期 | 2012.07.18 |
| 申请号 | CN201080048280.3 | 申请日期 | 2010.10.25 |
| 申请人 | 道康宁公司 | 发明人 | 韦·陈;E·S·梅尔;B·T·源;S·王;马克·A·瓦努斯;周晓兵 |
| 分类号 | C08G77/62(2006.01)I;C09D183/16(2006.01)I | 主分类号 | C08G77/62(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人 | 武晶晶;郑霞 |
| 主权项 | 1.一种聚硅烷-聚硅氮烷共聚物，包括：式<img file="FDA0000157140560000011.GIF" wi="311" he="358" />的聚硅烷单元，和式<img file="FDA0000157140560000012.GIF" wi="463" he="351" />的聚硅氮烷单元，其中R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>各自独立地选自H、Si和N原子，且R<sup>3</sup>选自H、Si或C原子，a≥1，b≥1，且值(a+b)≥2；且其中所述共聚物不含SiC键。 | ||
| 地址 | 美国密歇根州 | ||