发明名称 | 无耦合运动的二维微位移工作台 | ||
摘要 | 无耦合运动的二维微位移工作台,包括:基板、外层柔性铰链杆、驱动支座、电致伸缩器件、内层柔性铰链杆、工作台,四组沿X、Y方向对称分布的内层柔性铰链杆一端连接工作台,另一端连接驱动支座,驱动支座通过外层柔性铰链杆连接到基板上,驱动支座中间设有电致伸缩器件,电致伸缩器件一端顶紧工作台的凸缘,另一端顶在驱动支座上。本发明采用双层柔性铰链杆对称结构一体化设计,整体采用线切割加工方法一次切割完成,无装配元件,可实现输出位移与输入位移成正比的独立、无耦合一维或者二维运动,具有无耦合、分辨率高、结构紧凑的特点,可应用于微机电系统、扫描探测显微镜、超精密加工、光学元件制造以及生物医学工程等领域。 | ||
申请公布号 | CN102581828A | 申请公布日期 | 2012.07.18 |
申请号 | CN201210030194.0 | 申请日期 | 2012.02.10 |
申请人 | 合肥工业大学 | 发明人 | 沈健;俞涛;张海岩;陈东;任兴亮 |
分类号 | B25H1/00(2006.01)I | 主分类号 | B25H1/00(2006.01)I |
代理机构 | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人 | 何梅生 |
主权项 | 无耦合运动的二维微位移工作台,包括:基板(1)、外层柔性铰链杆(2)、驱动支座(3)、电致伸缩器件(4)、内层柔性铰链杆(5)、工作台(6),所述工作台(6)沿X、Y方向对称分布有四个工作台凸缘(7);所述驱动支座(3)用于连接基板(1)与工作台(6),包括一个驱动支座跨梁(9)和位于支座跨梁两侧的驱动支座侧板(8),驱动支座(3)通过外层柔性铰链杆(2)与基板(1)连接,通过内层柔性铰链杆(5)与工作台连接,所述内层柔性铰链杆(5)一端连接驱动支座侧板(8),另一端连接工作台凸缘;所述电致伸缩器件(4)有两个,其中X、Y方向各一个,所述电致伸缩器件(4)一端顶紧工作台的凸缘(7),另一端顶在驱动支座跨梁(9)上。 | ||
地址 | 230009 安徽省合肥市屯溪路193号 |