蒸发器

摘要

一种固态前体输送组件(200)，所述固态前体输送组件通常包括：容器(202)，该容器具有上部和下部；和被限定在所述容器内的室，所述室包括入口室(238)、出口室(244)以及第一和第二前体室(240，242)。第一和第二前体室构造成用来将前体材料保持在容器内。烧结基板(248，250，252)固定地联接且密封到容器的内部，并且限定容器内的所述室的至少一部分。所述烧结基板的至少一个构造成用来在第一前体室内在其上保持前体材料，并且所述烧结基板的至少一个构造成用来在第二前体室内在其上保持前体材料。入口(206)联接到所述容器以便将载流气体输送到容器中，并且出口(208)联接到容器以便用来从所述容器移除蒸发的前体材料和载流气体。

主权项

一种固态前体输送组件，所述固态前体输送组件包括：容器；至少两个室，所述至少两个室被限定在所述容器内并且构造成将前体材料保持在相应的至少两个室中的每一个室内；至少两个多孔分隔件，所述至少两个多孔分隔件固定地联接到所述容器并且限定构造成保持前体材料的所述至少两个室的至少一部分；入口，所述入口与所述容器联接，以便将载流气体输送到所述容器中；和出口，所述出口与所述容器联接，以便从包含蒸发的前体材料和载流气体的所述容器移除蒸汽产物。