发明名称 |
半导体参数测试仪器的测试探针的电阻测试方法 |
摘要 |
一种半导体参数测试仪器的测试探针的电阻测试方法,参数测试仪器至少包括第一测试探针、第二测试探针、第三测试探针和第四测试探针,测试仪器可以通过测试探针提供设定值大小的电流、电压或测量测试点的电压、电流,所述方法为把四个测试探针共同放在同一测试金属块上,然后进行以下两个步骤:设置第一测试探针提供第一电流、第一电压,第二测试探针、第三测试探针和第四测试探针分别设定电压为零,同时测试电流;设置第一测试探针提供第二电流、第二电压,第二测试探针设定电流为零并测试电压,第三测试探针和第四测试探针提供设定电压为零,同时测试电流。通过该方法,能够较快且精准的测量出多个测试探针的电阻值。 |
申请公布号 |
CN102590630A |
申请公布日期 |
2012.07.18 |
申请号 |
CN201210052007.9 |
申请日期 |
2012.03.01 |
申请人 |
上海宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
范象泉 |
分类号 |
G01R27/14(2006.01)I |
主分类号 |
G01R27/14(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
骆苏华 |
主权项 |
一种半导体参数测试仪器的测试探针的电阻测试方法,所述参数测试仪器至少包括四个测试探针,分别为第一测试探针、第二测试探针、第三测试探针和第四测试探针,所述参数测试仪器可以通过测试探针提供设定值大小的电流、电压,并可以通过测试探针测量测试点的电压、电流,其特征在于,所述电阻测试方法包括:把四个测试探针共同放在同一测试金属块上,然后进行以下两个步骤:设置第一测试探针提供第一电流、第一电压,第二测试探针、第三测试探针和第四测试探针分别设定电压为零,同时测试电流;设置第一测试探针提供第二电流、第二电压,第二测试探针设定电流为零并测试电压,第三测试探针和第四测试探针提供设定电压为零,同时测试电流。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号 |