一种MEMS麦克风

摘要

本发明公开了一种MEMS麦克风，由外壳和线路板构成MEMS麦克风的外部封装结构，在所述封装结构上设置有拾音孔，在所述封装结构内部的所述线路板上设置有偶数个MEMS声学换能器和一个ASIC芯片，所述偶数个MEMS声学换能器对称分组后实现差分连接。本发明的MEMS麦克风，由于差分连接的偶数个MEMS声学换能器能够将同时感知的外界声压的变化转换为整体电容变化，由ASIC芯片检测该整体电容变化并将其转换为电信号输出，从而提高了器件整体的灵敏度和信噪比增益。

主权项

一种MEMS麦克风，由外壳和线路板构成MEMS麦克风的外部封装结构，在所述封装结构上设置有拾音孔，其特征在于，在所述封装结构内部的所述线路板上设置有偶数个MEMS声学换能器和一个ASIC芯片，所述偶数个MEMS声学换能器对称分组后实现差分连接。