平面型单芯片惯性测量组合

摘要

本发明公开了一种平面型单芯片惯性测量组合，属于微惯性器件技术领域。该平面型单芯片惯性测量组合，含有至少两个具有相同结构的平面式惯性传感器；每个平面式惯性传感器包括相互平行的上基底、结构层、下基底。结构层通过键合块与上基底和下基底相连并形成悬浮结构。在上基底和上基底与所述惯性质量块相应的位置上分别布有上电极和下电极；上电极、惯性质量块和下电极形成差动电容器。本发明的惯性测量组合由相同的器件构成，减小了多个异构器件工艺设计的难度，尽可能的避免了lag效应。此外，制造过程中可以采用单个器件进行掩膜板制造，依靠划片将各个器件进行组合，加工降低了制版费用。

主权项

一种平面型单芯片惯性测量组合，包含至少两个平面式惯性传感器，其特征在于：所述的平面式惯性传感器都具有相同结构；每个平面式惯性传感器包括相互平行的上基底(1)、结构层、下基底(2)；所述结构层包含有一个惯性质量块(3)、四根组合梁(4)、键合块(8)和若干组梳齿电容器(9)；四根组合梁(4)均布在惯性质量块(3)的四周；每根组合梁(4)包含一个刚性体(5)、若干轴向弹性梁(6)和若干法向弹性梁(7)，刚性体(5)的两端各连接有至少一根轴向弹性梁(6)，每根轴向弹性梁(6)的另一端和键合块(8)相连；刚性体(5)的中部连接有至少一根法向弹性梁(7)，法向弹性梁(7)的另一端和惯性质量块(3)相连；同一组合梁(4)上的所有轴向弹性梁(6)互相平行，并和所有法向弹性梁(7)垂直；在每根刚性体(5)上与法向弹性梁(7)相对的一侧各连接有至少一个梳齿电容器(9)的可动部分，梳齿电容器(9)的固定部分与键合块(8)相连接；结构层通过所述的键合块(8)与上基底(1)和下基底(2)相连并形成悬浮结构；在上基底(1)与所述惯性质量块(3)相应的位置上，布有上电极(10)；在下基底(2)与所述惯性质量块(3)相应的位置上，布有下电极(11)：上电极(10)、惯性质量块(3)和下电极(11)形成差动电容器。