| 发明名称 | TiAlN/Ta多层膜刀具涂层及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种TiAlN/Ta多层膜刀具涂层及其制备方法。本发明所述的TiAlN/Ta多层膜刀具涂层组分主要为TiAlN和Ta，由TiAlN和Ta交替沉积制备，涂层最外层为TiAlN层。TiAlN层和Ta层的厚度和沉积次数都可根据具体要求和具体的沉积设备确定。本发明所述的TiAlN/Ta多层膜涂层可利用气相沉积方法获得。本发明在刀具基体的基础上交替沉积，是一种新型多功能刀具涂层，它具有高硬度和优良抗氧化性能。 | ||
| 申请公布号 | CN102586734A | 申请公布日期 | 2012.07.18 |
| 申请号 | CN201210065253.8 | 申请日期 | 2012.01.13 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 邵天敏;商宏飞;李健 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 徐宁;关畅 |
| 主权项 | 一种TiAlN/Ta多层膜刀具涂层，其特征在于：在刀具基体的基础上，依次交替沉积TiAlN层和Ta层，沉积的内层是TiAlN层，最外层也是TiAlN层。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区清华园1号清华大学摩擦学国家重点实验室 | ||